成都六氟化钨电子气体介绍：

化学式 WF6

中文名称 六氟化钨

熔 点 2.3℃溶解性 溶于多数有机溶剂，和氢氟酸生成H2[WF8]

密 度 相对密度（水=1）3.44（15℃） 稳定性 稳定

危险标记 6（有毒气体）

六氟化钨，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料,  另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。

在钨的氟化物中，WF6是稳定并被工业化生产的品种。主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。

WF6还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外，WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。